YS/T 719-2009 平面磁控溅射靶材光学薄膜用硅靶

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文件大小： 889.31 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 平面   磁控溅射   光学薄膜   YS   719
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标准简介

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适用范围：本标准明确了平面磁控溅射靶材光学薄膜用硅靶的技术管理要求，适用于有色金属的生产运营与质量监督。

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