YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材光学薄膜用铌靶

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文件大小： 949.25 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 平面   磁控溅射   光学薄膜   YS   718
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标准简介

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适用范围：本标准对平面磁控溅射靶材光学薄膜用铌靶的质量评价提出了明确要求，适用于有色金属的技术策划与组织管理。

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