T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.69 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 薄膜   精度   测试   设备   磁控溅射
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标准简介

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适用范围：本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度测试方法的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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