T/GVS 002-2021 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 通用   设备   磁控溅射   镀膜   高精度
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标准简介

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适用范围：本标准对高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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