SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 完好   评定   磁控溅射   检查   方法
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标准简介

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适用范围：本标准针对EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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