SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件

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文件大小： 284.39 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 通用   设备   磁控溅射   技术   条件
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标准简介

说明：本站提供 SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对磁控溅射设备通用技术条件提出了原材料与加工工艺的技术指标，提升产品制造产品质量。

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