磁控溅射氧化钛薄膜的电学特性研究

文件格式： PDF文档
文件大小： 434.83 KB
资源类别： 电力
关键词： 薄膜   氧化   特性   磁控溅射   电学
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

磁控溅射氧化钛薄膜的电学特性研究
相关推荐