后退火对射频磁控溅射制备β-Ga2O3薄膜的影响

文件格式： PDF文档

文件大小： 2.51 MB

资源类别：机械

关键词：射频制备薄膜磁控溅射退火

进入标准下载页面

本资源下载需 1 点

论文简介

后退火对射频磁控溅射制备β-Ga2O3薄膜的影响

相关推荐