YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 233.07 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 抛光   清洗   表面   方法   YS
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标准简介

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适用范围：本标准针对硅抛光片表面清洗方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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