YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

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语言版本: 简体中文
标准类别: 有色金属
关键词: 厚度   尺寸   测定   堆垛   外延

标准简介

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适用范围:本标准明确了硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法的技术条件与质量要求,适用于有色金属的设计、制造与检验工作。

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