YS/T 1600-2023 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.29 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 辉光   放电   杂质   测定   元素
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标准简介

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适用范围：本文件明确了碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法的管理规定与实施要求，为有色金属的标准化实施提供技术指南。

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