YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

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文件大小： 1.37 MB

语言版本：简体中文

标准类别：有色金属

关键词：高纯纯度杂质薄膜指南

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标准简介

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适用范围：本文件提供了电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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