YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.01 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 厚度   尺寸   测定   堆垛   外延
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标准简介

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适用范围：本标准针对硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法制定了系统的技术方案，适用于有色金属的技术交流与合作。

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