YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定

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文件大小： 2.16 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 杂质   测定   硅烷   甲基   方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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