YS/T 819-2012 电子薄膜用高纯铜溅射靶材

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.66 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 高纯   薄膜   电子   YS   819
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标准简介

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适用范围：本文件确立了电子薄膜用高纯铜溅射靶材的技术框架，为有色金属的技术创新提供系统性的规范支撑。

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