YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

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语言版本：简体中文

标准类别：有色金属

关键词：染色厚度测定扩散外延

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标准简介

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适用范围：本文件明确了硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法的管理规定与实施要求，适用于有色金属的技术交流与合作。

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