T/CASAS 069-2026 半导体晶片激光刻字深度的测定白光干涉法

文件格式： PDF文档

文件大小： 535.76 KB

语言版本：简体中文

标准类别：团体标准

关键词：晶片刻字半导体测定激光

进入标准下载页面

标准截图

T/CASAS 069-2026 半导体晶片激光刻字深度的测定白光干涉法

标准简介

说明：本站提供 T/CASAS 069-2026 半导体晶片激光刻字深度的测定白光干涉法 的PDF全文下载。

适用范围：本文件提出了半导体晶片激光刻字深度的测定白光干涉法的具体技术措施，为团体标准的技术工作提供全面的规范依据。

相关推荐