T/ZZB 3882-2024 等离子刻蚀机用硅环

文件格式： PDF文档
文件大小： 3.98 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 刻蚀   等离子   ZZB   3882   2024
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标准简介

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适用范围：本文件提出了等离子刻蚀机用硅环的具体技术措施，为团体标准的技术体系建设提供重要支撑。

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