T/CASAS 060-2025 用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

文件格式： PDF文档
文件大小： 10.95 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 器件   功率   用于   衬底   氮化
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标准简介

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适用范围：本文件确立了用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片的技术框架，为团体标准的质量管理与技术监督提供保障。

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