T/CPSS 1018-2025 半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 23.51 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 阻抗   射频   半导体   电源   测试
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标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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