T/CIET 1279-2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）

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文件大小： 3.56 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 相传   物理   生长   碳化硅   技术规范
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标准简介

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适用范围：本文件提供了碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）的实施指南与技术支撑，适用于服务管理的行业规范化建设。

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