T/CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨

文件格式： PDF文档
文件大小： 3.64 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 石墨   生长   静压   碳化硅   CASAS
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标准简介

说明：本站提供 T/CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对碳化硅单晶生长用等静压石墨提出了全面的技术要求，适用于团体标准的产品开发与技术应用。

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