T/CASAS 036-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法辉光放电质谱法

文件格式： PDF文档

文件大小： 3.96 MB

语言版本：简体中文

标准类别：团体标准

关键词：辉光石墨放电纯度构件

进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 T/CASAS 036-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法辉光放电质谱法 的PDF全文下载。

适用范围：本文件规定了碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法辉光放电质谱法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

相关推荐