T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.19 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 尾气   半导体   分解   测试   效率
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标准简介

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适用范围：本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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