T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备

文件格式： PDF文档
文件大小： 325.49 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 剥离   激光   设备   衬底   碳化硅
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标准简介

说明：本站提供 T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对碳化硅衬底激光剥离设备提出了原材料与加工工艺的技术指标，提升产品制造产品质量。

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