T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

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文件大小： 372.66 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 基座   下部   备用   沉积   加热
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标准简介

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适用范围：本文件明确了10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座的检验规则与标志包装要求，适用于产品制造的质量追溯。

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