T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

文件格式： PDF文档
文件大小： 294.75 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 石墨   备用   沉积   化学   增强
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟提出了原材料与加工工艺的技术指标，提升产品制造产品质量。

相关推荐