T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范

文件格式： PDF文档
文件大小： 862.62 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 备用   半导体   评价   规范   GVS
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范 的PDF全文下载。

适用范围：本文件规定了半导体设备用低温泵评价规范的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

相关推荐