T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 沉积   陶瓷   物理   电子束   技术
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标准简介

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适用范围：本标准针对电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件制定了统一的技术规范，适用于团体标准的工艺优化与质量控制。

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