T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 沉积   电池   化学   增强   设备
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标准简介

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适用范围：本标准对异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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