T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

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文件大小： 412.26 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 设计   系统   半导体设备   技术   要求
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标准简介

说明：本站提供 T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求 的PDF全文下载。

适用范围：本标准对半导体设备隔振系统设计及技术要求的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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