T/JSSIA 0001-2024 光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 833.4 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 界面   薄膜   介质   金属   评价
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 T/JSSIA 0001-2024 光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法 的PDF全文下载。

适用范围：本文件明确了光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

相关推荐