T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

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文件大小： 495.81 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 基准   英寸   标记   尺寸   衬底
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标准简介

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适用范围：本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸的技术实施准则，适用于团体标准的日常管理与技术监督。

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