T/IAWBS 013-2019 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 晶片   绝缘   接触   电阻率   碳化硅
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标准简介

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适用范围：本文件规定了半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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