T/IAWBS 012-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.56 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   密度   焦点   测试   干涉
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标准简介

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适用范围：本文件明确了碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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