T/IAWBS 011-2019 导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法

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语言版本: 简体中文
标准类别: 团体标准
关键词: 晶片   涡流   导电   接触   电阻率

标准简介

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适用范围:本文件提供了导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法的快速检测方法与便携仪器应用规范,提升检测技术检测效率。

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