T/IAWBS 010-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法

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文件大小： 432.29 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   散射   激光   密度   检测
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标准简介

说明：本站提供 T/IAWBS 010-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 的PDF全文下载。

适用范围：本文件规定了碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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