T/IAWBS 007-2018 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 厚度   反射   碳化硅   外延   同质
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标准简介

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适用范围：本标准对4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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