T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范

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文件大小： 931.3 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 薄膜   半导体   测试   装备   规范
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标准简介

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适用范围：本文件提供了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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