T/NXCL 017-2022 300 mm 重掺磷直拉硅单晶抛光片

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   NXCL   017   2022   300
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标准简介

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适用范围：本标准规定了300 mm 重掺磷直拉硅单晶抛光片的技术框架与实施路径，为团体标准的工程项目提供技术依据。

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