T/NXCL 016-2022 200 mm 重掺锑直拉硅单晶抛光片

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   NXCL   016   2022   200
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标准简介

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适用范围：本文件涵盖了200 mm 重掺锑直拉硅单晶抛光片的技术规定与基本要求，适用于团体标准的工程实践与质量管理。

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