T/CASAS 014-2021 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 衍射   弯曲   分辨   平面   射线
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标准简介

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适用范围：本标准明确了碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法的技术管理要求，适用于团体标准的生产运营与质量监督。

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