T/CASAS 013-2021 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法

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文件大小： 738.84 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 晶片   腐蚀   图像   识别   密度
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标准简介

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适用范围：本标准对碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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