T/CASAS 010-2019 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法

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文件大小： 1.43 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 杂质   离子   浓度   检测   分布
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标准简介

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适用范围：本文件规定了氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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