T/CASAS 009-2019 半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.48 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 绝缘   杂质   离子   浓度   检测
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 T/CASAS 009-2019 半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 的PDF全文下载。

适用范围：本标准对半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

相关推荐