T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱

文件格式： PDF文档
文件大小： 3.62 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 图谱   缺陷   衬底   碳化硅   外延
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标准简介

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适用范围：本文件提供了T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱的标准化建设指南，适用于团体标准的产品开发与技术应用。

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