T/CASAS 004.1-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语

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文件大小： 1.21 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 术语   缺陷   衬底   碳化硅   外延
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标准简介

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适用范围：本标准对T/CASAS 004.1-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语的质量评价提出了明确要求，适用于团体标准的技术审评与合规检查。

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