T/FSI 065-2021 三甲氧基硅烷

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文件大小： 670.64 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 硅烷   FSI   065   2021   三甲氧基
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标准简介

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适用范围：本文件明确了三甲氧基硅烷应满足的技术条件，适用于团体标准的技术改造与设备管理。

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