T/ZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   ZZB   0648   2018   200
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标准简介

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适用范围：本标准对200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的质量评价提出了明确要求，适用于团体标准的行业监督与质量评价。

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