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[计量技术规范] JJF 1739-2019 数字式激光球面干涉仪校准规范
[计量技术规范] JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范
[计量技术规范] JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范
[吉林省地方标准] DB22/T 2651-2017 数字式激光球面干涉仪校准规范
[机械行业标准] JB/T 5610-2006 激光干涉仪
[机械行业标准] JB/T 8233-1999 立式接触式干涉仪